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臭氧發生器常用的氣源大體可分為下列幾種:

1)干燥氣源——無油壓縮空氣經冷卻、干燥、過濾后作為原料氣；
2)富氧源無油壓縮空氣經冷干處理后送入變壓吸附空分系統，分離氮氣和氧氣，
收集氧氣作為原料氣(這種原料氣含有惰性氣體和二氧化碳，以及少量氮，不是純氧，因此被稱為富氧源)；
3)工業氧源——通常使用瓶裝工業氧(多適用于小型臭氧發生器)；
4）液氧——液態氧在汽化器汽化減壓后作為原料氣送入臭氧發生器(通常用于較大規模的裝置。

    臭氧（O3）是氧的高能態存在形式，無色，有特殊臭味，極不穩定，具有奇特的強氧化性,可以有效的去除氮氧化物、二氧化硫、氯氟有機物等，同時可以滅菌、去污、漂白、除臭等，臭氧的分解化學物質的過程中還原成(O2)或生成水(H2O)，不產生二次污染。在自然界中，主要由雷電所產生，它是"天賜的凈化劑"。
　由于臭氧的這種凈化特性，采用人工的臭氧發生器使得臭氧在水處理行業得到了廣泛的應用。臭氧在水中對細菌、*等微生物殺滅率高、速度快，對有機化合物等污染物質去除徹底而又不產生二次污染，因此飲用水殺菌消毒是臭氧應用的主要部門，自來水行業是臭氧的市場。
　除了在水處理方面的應用，臭氧還能有效的治理氮氧化物污染，而且是無催化劑，無還原劑，零排放的循環清潔工藝。臭氧脫除氮氧化物已經在FCC（石油化工的催化裂化）得到了廣泛的應用，是具有零吸收劑，零催化劑，零污染的先進清潔工藝。臭氧的氧化能力極強，臭氧的氧化還原電位僅次于氟，比過氧化氫、高錳酸鉀等都高。此外，臭氧的反應產物是氧氣，所以它是一種高效清潔的強氧化劑。